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描述:日本Canon anelva佳能 真空表 真空計(jì)M-342DG電容式壓力計(jì)“M-342DG"在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片,最大限度地減少了溫度、振動(dòng)、大氣壓力波動(dòng)等外部環(huán)境的影響,實(shí)現(xiàn)了高精度、穩(wěn)定的隔膜真空壓力測(cè)量。達(dá)到調(diào)零最小頻率的儀表。
品牌 | 其他品牌 | 價(jià)格區(qū)間 | 1萬(wàn)-2萬(wàn) |
---|---|---|---|
產(chǎn)地類別 | 進(jìn)口 | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,化工,電子,制藥,電氣 |
日本Canon anelva佳能 真空表 真空計(jì)M-342DG
日本Canon anelva佳能 真空表 真空計(jì)M-342DG
特征:
高精度、穩(wěn)定的壓力測(cè)量
?出色的零點(diǎn)穩(wěn)定性
?溫度依賴性低,無(wú)需溫度調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)即可實(shí)現(xiàn)出色的穩(wěn)定性
?出色的抗振性和噪音性
緊湊、低功耗
、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、輕量且緊湊 (*1)
、功耗 0.5 W
*1 質(zhì)量和尺寸適用于聯(lián)合 NW16 規(guī)格。
廣泛兼容真空壓力的高精度、長(zhǎng)期穩(wěn)定測(cè)量
半導(dǎo)體、顯示器、太陽(yáng)能電池等各種真空設(shè)備、
濺射、PECVD等真空成膜工藝壓力控制、監(jiān)視
/負(fù)載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導(dǎo)入工藝、系統(tǒng)壓力管理。
用于醫(yī)療、生物、食品等行業(yè)的各種涂層、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析設(shè)備、滅菌、真空泵評(píng)估、分子蒸餾等,以及各種研發(fā)應(yīng)用。
型號(hào)名稱 | M-342DG | ||||
---|---|---|---|---|---|
-1D | -1N | -11 | -12 | -13 | |
滿量程壓力 (Pa) | 13.33 | 133.3 | 1.333k | 13.33k | 133.3k |
測(cè)量精度(讀數(shù)的%) | 0.20(23℃時(shí)) | ||||
零點(diǎn)溫度系數(shù)(% of FS/℃) | 0.01 | 0.005 | 0.002 | ||
量程溫度系數(shù)(%讀數(shù)/℃) | 0.01 | 0.005 | |||
分辨率(滿量程的%) | 0.01 | 0.005 | |||
測(cè)量下限壓力(滿量程的%) | 0.01 | ||||
實(shí)際測(cè)量下限壓力(滿量程的%) | 0.05 | ||||
實(shí)際控制下限壓力(滿量程的%) | 0.5 | ||||
響應(yīng)速度(毫秒) | 100 | 30 | |||
壓力上限 | 200 kPa(但是,對(duì)于NW16和NW25,內(nèi)部壓力不得為正) *13.33 Pa規(guī)格為130 kPa | ||||
電源電壓(VDC) | +13.5~26.4 | ||||
功耗(瓦) | 0.5 | ||||
模擬輸出(直流) | 0-10 | ||||
工作溫度/儲(chǔ)存溫度(℃) | 0~50/-20~70(不工作時(shí)) | ||||
最大電纜長(zhǎng)度(米) | 100(專用電纜) | ||||
調(diào)零方式 | 按鍵開(kāi)關(guān)、遠(yuǎn)程輸入 | ||||
輸入/輸出連接器 | D-sub9 針(公頭) | ||||
氣體接觸材料 | SUS304、SUS316、Si、玻璃、氟橡膠 | ||||
法蘭形狀和質(zhì)量 | NW16 (200 g)、NW25 (210 g)、8-VCR 母頭 (250 g)、φ70ICF (460 g) | ||||
一致 | CE 標(biāo)志、RoHS、IP40 | ||||
證券交易管制條例 | 不適用 | ||||
兼容顯示器 | M-601GC(1通道連接型)、M-603GC(3通道連接型) |
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