日本Canon anelva佳能電容表真空計

描述：日本Canon anelva佳能電容表真空計M-342DG
電容式壓力計“M-342DG"在壓力傳感器部分采用了小型硅MEMS芯片，最大限度地減少了溫度、振動、大氣壓力波動等外部環(huán)境的影響，實現(xiàn)了高精度、穩(wěn)定的隔膜真空壓力測量。達到調(diào)零最小頻率的儀表。

產(chǎn)品型號：M-342DG
廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商
更新時間：2024-08-24
訪問量：127

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品介紹/ PRODUCT PRESENTATION

品牌	其他品牌	價格區(qū)間	1萬-2萬
產(chǎn)地類別	進口	應用領(lǐng)域	環(huán)保,化工,電子,制藥,電氣

日本Canon anelva佳能電容表真空計M-342DG

特征：

高精度、穩(wěn)定的壓力測量
?出色的零點穩(wěn)定性
?溫度依賴性低，無需溫度調(diào)節(jié)機構(gòu)即可實現(xiàn)出色的穩(wěn)定性
?出色的抗振性和噪音性
緊湊、低功耗
、重量 200 g、尺寸 W46 mm x H49 mm x L106 mm、輕量且緊湊 (*1)
、功耗 0.5 W

*1 質(zhì)量和尺寸適用于聯(lián)合 NW16 規(guī)格。

廣泛兼容真空壓力的高精度、長期穩(wěn)定測量

半導體、顯示器、太陽能電池等各種真空設(shè)備、
濺射、PECVD等真空成膜工藝壓力控制、監(jiān)視
/負載鎖定室、晶圓冷卻等氣體導入工藝、系統(tǒng)壓力管理。
用于醫(yī)療、生物、食品等行業(yè)的各種涂層、等離子體處理、真空密封、真空爐、分析設(shè)備、滅菌、真空泵評估、分子蒸餾等，以及各種研發(fā)應用。

型號名稱	M-342DG
型號名稱	-1D	-1N	-11	-12	-13
滿量程壓力 (Pa)	13.33	133.3	1.333k	13.33k	133.3k
測量精度（讀數(shù)的%）	0.20(23℃時)
零點溫度系數(shù)（% of FS/℃）	0.01	0.005	0.002
量程溫度系數(shù)（%讀數(shù)/℃）	0.01		0.005
分辨率（滿量程的%）	0.01	0.005
測量下限壓力（滿量程的%）	0.01
實際測量下限壓力（滿量程的%）	0.05
實際控制下限壓力（滿量程的%）	0.5
響應速度（毫秒）	100	30
壓力上限	200 kPa（但是，對于NW16和NW25，內(nèi)部壓力不得為正） *13.33 Pa規(guī)格為130 kPa
電源電壓（VDC）	+13.5～26.4
功耗（瓦）	0.5
模擬輸出（直流）	0-10
工作溫度/儲存溫度(℃)	0~50/-20~70（不工作時）
最大電纜長度（米）	100（專用電纜）
調(diào)零方式	按鍵開關(guān)、遠程輸入
輸入/輸出連接器	D-sub9 針（公頭）
氣體接觸材料	SUS304、SUS316、Si、玻璃、氟橡膠
法蘭形狀和質(zhì)量	NW16 (200 g)、NW25 (210 g)、8-VCR 母頭 (250 g)、φ70ICF (460 g)
一致	CE 標志、RoHS、IP40
證券交易管制條例	不適用
兼容顯示器	M-601GC（1通道連接型）、M-603GC（3通道連接型）