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日本愛發(fā)科ULVAC皮拉尼真空計測量單元

描述：日本愛發(fā)科ULVAC皮拉尼真空計測量單元SP1
傳感器單元(SP1)是G-TRAN系列的皮拉尼真空計測量單元。「測定子和電路一體型(測定子可以更換)」結構，能夠降低成本和節(jié)省空間

  • 產(chǎn)品型號：SP1
  • 廠商性質：經(jīng)銷商
  • 更新時間：2024-04-29
  • 訪問量：131
產(chǎn)品介紹/ PRODUCT PRESENTATION
品牌ULVAC/日本愛發(fā)科價格區(qū)間5千-1萬
產(chǎn)地類別進口應用領域化工,電子,電氣,綜合

日本愛發(fā)科ULVAC皮拉尼真空計測量單元SP1

日本愛發(fā)科ULVAC皮拉尼真空計測量單元SP1


特點

  • 傳感器規(guī)格：如果需要壓力
    ·空白計劃降低
    ·控制板空間節(jié)省
    ·配線簡化

  • 決定子交換更容易

  • 燈絲采用耐腐蝕材料鉑

  • 其中一個使用的測量組件（SP1：WP-01,02,03,16）稍后使用

  • 可以輸出2個設定點

  • SP1：壓力為0至5 V輸出（非輸出）

  • 電源電壓：24 VDC輸入

用途

  • 用于半導體?電子部件等各種制造設備的低真空領域的工藝控制

  • 用于爐等各種工業(yè)設備的低真空領域的工藝控制

  • 用于在線式?片葉式等工藝腔室多種的各種制造設備的低真空領域的工藝控制

規(guī)格

類型傳感器單元
模型SP1
兼容的傳感器頭WP-01、WP-02、WP-03、WP-16

準確性


±15 %（51 Pa ～760 Pa）
±30 %（10 Pa ～1000 Pa）
±50 %（0.4 Pa ～3000 Pa）
工作溫度范圍10～40℃
測量值輸出非線性輸出：0至5VDC（最大10V）
設定點 1/2 壓力設定調節(jié)監(jiān)視器非線性輸出：0至5VDC（最大10V）
控制輸出信號集電極開路輸出，負邏輯
錯誤信號
設定值 1/2
LED顯示屏功率、錯誤、設定點 1、設定點 2
電源電壓DC24V±2V，90mA（最大）
輸入/輸出連接器D-sub-15P（M2.6螺絲）
重量190克/0.41磅（不包括傳感器頭）

標準配件

輸入/輸出連接器 1 個
快速說明書 1份



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