1. MEMS方法

傾斜傳感器利用 MEMS（微機(jī)電系統(tǒng)）技術(shù)，將電極排列在全封閉室內(nèi)。兩個(gè)桿中的一個(gè)是固定的，另一個(gè)桿可以通過連接到彈簧來自由移動(dòng)。

測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)是傾斜傳感器水平時(shí)的電容測(cè)量。當(dāng)傾斜傳感器傾斜時(shí)，自由端電極相對(duì)于固定端電極的位置發(fā)生變化，同時(shí)電容也會(huì)出現(xiàn)波動(dòng)。有所不同。此時(shí)的電容差被轉(zhuǎn)換為角度。

2、電解法

使用電解質(zhì)技術(shù)的傾斜傳感器有兩對(duì)電極，安裝在與測(cè)量軸平行的室底部，并充滿電解質(zhì)。當(dāng)在兩極之間施加電壓時(shí)，電流形成色散場(chǎng)。結(jié)果，腔室傾斜并且液位發(fā)生變化，從而改變了分散場(chǎng)。

電解液的電導(dǎo)率是恒定的，電阻的變化取決于與液位的關(guān)系。此外，由于除電解液外沒有其他運(yùn)動(dòng)部件，因此磨損較少，抗沖擊性優(yōu)異。用于測(cè)量的電極浸入電解質(zhì)中，不會(huì)腐蝕。